Approvisionnement en air comprimé multi-processus pour la fabrication de semi-conducteurs
En tant qu'entreprise leader dans le domaine des matériaux et équipements pour semi-conducteurs, la société a des exigences strictes en matière de propreté et de stabilité de la pression de l'air comprimé dans les procédés de ultra-précision tels que la croissance de silicium monocristallin et la découpe de plaquettes. La qualité de la source d’air comprimé affecte directement la pureté des matériaux semi-conducteurs et les performances des dispositifs.
En tant qu'entreprise leader dans le domaine des matériaux et équipements pour semi-conducteurs, la société a des exigences strictes en matière de propreté et de stabilité de la pression de l'air comprimé dans les procédés de ultra-précision tels que la croissance de silicium monocristallin et la découpe de plaquettes. La qualité de la source d’air comprimé affecte directement la pureté des matériaux semi-conducteurs et les performances des dispositifs.
Mise en œuvre du projet et résultats d'exploitation
En tant qu'entreprise leader dans le domaine des matériaux et équipements pour semi-conducteurs, la société a des exigences strictes en matière de propreté et de stabilité de la pression de l'air comprimé dans les procédés de ultra-précision tels que la croissance de silicium monocristallin et la découpe de plaquettes. La qualité de la source d’air comprimé affecte directement la pureté des matériaux semi-conducteurs et les performances des dispositifs.
Le projet utilise deux compresseurs à vis BOSAN : un LD PMII et un BDS-50. Ils alimentent ensemble les commandes pneumatiques et les équipements auxiliaires. Le traitement de l’air répond aux besoins de propreté du système pneumatique ; cette alimentation est distincte des gaz de procédé dédiés à la fabrication des semi-conducteurs.
Après la mise en service de l'équipement, le rendement en silicium monocristallin de l'entreprise s'est amélioré de manière significative, la consommation d'énergie du système d'alimentation en air comprimé a été réduite, offrant un soutien solide pour la production de masse de matériaux semi-conducteurs de haute qualité.
Les chiffres s'appliquent à ce projet et à ses conditions de fonctionnement spécifiques, et ne garantissent pas les résultats pour d'autres projets ou pour l'ensemble de la série de produits. La configuration et les performances sont soumises à l'accord technique du projet.