Cung cấp khí nén đa quy trình cho sản xuất bán dẫn
Là một doanh nghiệp hàng đầu trong lĩnh vực vật liệu và thiết bị bán dẫn, công ty có các yêu cầu nghiêm ngặt về quy trình đối với độ sạch và độ ổn định áp suất của không khí nén trong các quy trình siêu chính xác như phát triển tinh thể silicon đơn và cắt wafer. Chất lượng nguồn khí nén ảnh hưởng trực tiếp đến độ tinh khiết của vật liệu bán dẫn và hiệu suất của các thiết bị.
Là một doanh nghiệp hàng đầu trong lĩnh vực vật liệu và thiết bị bán dẫn, công ty có các yêu cầu nghiêm ngặt về quy trình đối với độ sạch và độ ổn định áp suất của không khí nén trong các quy trình siêu chính xác như phát triển tinh thể silicon đơn và cắt wafer. Chất lượng nguồn khí nén ảnh hưởng trực tiếp đến độ tinh khiết của vật liệu bán dẫn và hiệu suất của các thiết bị.
Triển khai dự án và kết quả hoạt động
Là một doanh nghiệp hàng đầu trong lĩnh vực vật liệu và thiết bị bán dẫn, công ty có các yêu cầu nghiêm ngặt về quy trình đối với độ sạch và độ ổn định áp suất của không khí nén trong các quy trình siêu chính xác như phát triển tinh thể silicon đơn và cắt wafer. Chất lượng nguồn khí nén ảnh hưởng trực tiếp đến độ tinh khiết của vật liệu bán dẫn và hiệu suất của các thiết bị.
Dự án sử dụng hai máy nén khí trục vít BOSAN: một LD PMII và một BDS-50. Hai máy cùng cấp khí nén cho hệ thống điều khiển khí nén và thiết bị phụ trợ. Hệ thống xử lý khí đáp ứng yêu cầu độ sạch của hệ thống khí nén; nguồn khí này khác với các khí công nghệ chuyên dụng trong sản xuất chất bán dẫn.
Sau khi thiết bị được đưa vào vận hành, năng suất silicon đơn tinh thể của doanh nghiệp đã được cải thiện hiệu quả, tiêu thụ năng lượng của hệ thống cung cấp khí giảm, cung cấp sự hỗ trợ vững chắc cho sản xuất hàng loạt vật liệu bán dẫn cao cấp.
Các con số áp dụng cho dự án này và các điều kiện vận hành cụ thể của nó, không đảm bảo kết quả cho các dự án khác hoặc toàn bộ dòng sản phẩm. Cấu hình và hiệu suất phụ thuộc vào thỏa thuận kỹ thuật của dự án.