Снабжение сжатым воздухом нескольких технологических процессов производства полупроводников

Реализация проекта и результаты эксплуатации

Как ведущая компания в области полупроводниковых материалов и оборудования, компания предъявляет строгие требования к чистоте и стабильности давления сжатого воздуха в ультраточных процессах, таких как выращивание монокристаллического кремния и резка пластин. Качество газового источника напрямую влияет на чистоту полупроводниковых материалов и характеристики устройств.

В проекте используются два винтовых компрессора BOSAN: один LD PMII и один BDS-50. Совместно они подают сжатый воздух к пневматическим системам управления и вспомогательному оборудованию. Подготовка воздуха обеспечивает требования пневмосистемы к чистоте; этот воздух следует отличать от специальных технологических газов для производства полупроводников.

После ввода оборудования в эксплуатацию на предприятии повысился выход годного монокристаллического кремния и снизилось энергопотребление системы снабжения сжатым воздухом. Это создало надёжную основу для серийного производства высококачественных полупроводниковых материалов.

Эти данные относятся к этому проекту и его конкретным условиям эксплуатации, не гарантируя результаты для других проектов или всей серии продуктов. Конфигурация и характеристики зависят от технического соглашения по проекту.

Продукт, связанный с этим проектом

• Двухступенчатый VSD воздушный компрессор LD-PMII
• Горизонтальный двухступенчатый воздушный компрессор серии BDS