BOSAN

Fornecimento de Ar Comprimido Multiprocessos para Fabricação de Semicondutores

Como uma empresa líder no campo de materiais e equipamentos semicondutores, a empresa possui requisitos rigorosos de processo quanto à limpeza e estabilidade de pressão do ar comprimido em processos de ultraprecisão, como o crescimento de silício monocristalino e o corte de wafers. A qualidade da fonte de ar comprimido afeta diretamente a pureza dos materiais semicondutores e o desempenho dos dispositivos.

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Como uma empresa líder no campo de materiais e equipamentos semicondutores, a empresa possui requisitos rigorosos de processo quanto à limpeza e estabilidade de pressão do ar comprimido em processos de ultraprecisão, como o crescimento de silício monocristalino e o corte de wafers. A qualidade da fonte de ar comprimido afeta diretamente a pureza dos materiais semicondutores e o desempenho dos dispositivos.

Implementação do Projeto e Resultados Operacionais

Como uma empresa líder no campo de materiais e equipamentos semicondutores, a empresa possui requisitos rigorosos de processo quanto à limpeza e estabilidade de pressão do ar comprimido em processos de ultraprecisão, como o crescimento de silício monocristalino e o corte de wafers. A qualidade da fonte de ar comprimido afeta diretamente a pureza dos materiais semicondutores e o desempenho dos dispositivos.

O projeto utiliza dois compressores de parafuso BOSAN: um LD PMII e um BDS-50. Juntos, fornecem ar comprimido aos controles pneumáticos e equipamentos auxiliares. O tratamento do ar atende às necessidades de limpeza do sistema pneumático; este fornecimento é distinto dos gases de processo específicos da fabricação de semicondutores.

Após a colocação do equipamento em operação, o rendimento de silício monocristalino da empresa melhorou efetivamente, o consumo de energia do sistema de fornecimento de ar comprimido foi reduzido, fornecendo suporte sólido para a produção em massa de materiais semicondutores de alta qualidade.

Os números se aplicam a este projeto e suas condições operacionais específicas, não sendo resultados garantidos para outros projetos ou para toda a série de produtos. A configuração e o desempenho estão sujeitos ao acordo técnico do projeto.

Produto Associado a Este Projeto

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