Wieloprocesowe zasilanie sprężonym powietrzem do produkcji półprzewodników

Realizacja projektu i wyniki operacyjne

Jako wiodące przedsiębiorstwo w dziedzinie materiałów i urządzeń półprzewodnikowych, firma ma rygorystyczne wymagania procesowe dotyczące czystości i stabilności ciśnienia sprężonego powietrza w ultra-precyzyjnych procesach, takich jak wzrost monokrystalicznego krzemu i cięcie płyt krzemowych. Jakość źródła sprężonego powietrza bezpośrednio wpływa na czystość materiałów półprzewodnikowych i wydajność urządzeń.

W projekcie zastosowano dwie sprężarki śrubowe BOSAN: jedną LD PMII i jedną BDS-50. Wspólnie zasilają sterowanie pneumatyczne i urządzenia pomocnicze. Uzdatnianie powietrza wspiera wymagania czystości układu pneumatycznego; zasilanie to jest odrębne od specjalnych gazów procesowych stosowanych w produkcji półprzewodników.

Po uruchomieniu urządzeń wzrósł uzysk krzemu monokrystalicznego w przedsiębiorstwie, a zużycie energii w systemie zasilania sprężonym powietrzem spadło. Zapewniło to solidne wsparcie dla masowej produkcji wysokiej klasy materiałów półprzewodnikowych.

Dane dotyczą tego projektu i jego konkretnych warunków eksploatacyjnych, a nie gwarantowanych wyników dla innych projektów lub całej serii produktów. Konfiguracja i wydajność podlegają technicznej umowie projektowej.

Produkt powiązany z tym projektem

• Dwustopniowa sprężarka powietrza LD-PMII z regulacją VSD
• Pozioma dwustopniowa sprężarka powietrza BDS