Fornitura di aria compressa multi-processo per la produzione di semiconduttori
Come impresa leader nel campo dei materiali e delle apparecchiature per semiconduttori, l'azienda ha requisiti rigorosi di processo per la pulizia e la stabilità della pressione dell'aria compressa in processi di ultraprecisione come la crescita del silicio monocristallino e il taglio dei wafer. La qualità dell'alimentazione di aria compressa influisce direttamente sulla purezza dei materiali semiconduttori e sulle prestazioni dei dispositivi.
Come impresa leader nel campo dei materiali e delle apparecchiature per semiconduttori, l'azienda ha requisiti rigorosi di processo per la pulizia e la stabilità della pressione dell'aria compressa in processi di ultraprecisione come la crescita del silicio monocristallino e il taglio dei wafer. La qualità dell'alimentazione di aria compressa influisce direttamente sulla purezza dei materiali semiconduttori e sulle prestazioni dei dispositivi.
Attuazione del progetto e risultati operativi
Come impresa leader nel campo dei materiali e delle apparecchiature per semiconduttori, l'azienda ha requisiti rigorosi di processo per la pulizia e la stabilità della pressione dell'aria compressa in processi di ultraprecisione come la crescita del silicio monocristallino e il taglio dei wafer. La qualità dell'alimentazione di aria compressa influisce direttamente sulla purezza dei materiali semiconduttori e sulle prestazioni dei dispositivi.
Il progetto utilizza due compressori a vite BOSAN: un LD PMII e un BDS-50. Insieme alimentano i comandi pneumatici e le apparecchiature ausiliarie. Il trattamento dell’aria supporta i requisiti di pulizia del sistema pneumatico; questa alimentazione è distinta dai gas di processo dedicati alla produzione di semiconduttori.
Dopo la messa in servizio delle apparecchiature, la resa del silicio monocristallino è migliorata e i consumi energetici del sistema di alimentazione dell'aria compressa sono diminuiti, sostenendo la produzione su larga scala di materiali semiconduttori di alta gamma.
Le cifre si riferiscono a questo progetto e alle sue specifiche condizioni operative, non sono risultati garantiti per altri progetti o per l'intera serie di prodotti. La configurazione e le prestazioni sono soggette all'accordo tecnico del progetto.