تأمین هوای فشرده چند مرحلهای برای تولید نیمههادیها
بهعنوان یک شرکت پیشرو در زمینه مواد و تجهیزات نیمهرسانا، این شرکت الزامات فرآیندی سختگیرانهای برای تمیزی و ثبات فشار هوای فشرده در فرآیندهای فوقالعاده دقیق مانند رشد تککریستال سیلیکون و برش ویفر دارد. کیفیت منبع هوای فشرده بهطور مستقیم بر خلوص مواد نیمهرسانا و عملکرد دستگاهها تأثیر میگذارد.
بهعنوان یک شرکت پیشرو در زمینه مواد و تجهیزات نیمهرسانا، این شرکت الزامات فرآیندی سختگیرانهای برای تمیزی و ثبات فشار هوای فشرده در فرآیندهای فوقالعاده دقیق مانند رشد تککریستال سیلیکون و برش ویفر دارد. کیفیت منبع هوای فشرده بهطور مستقیم بر خلوص مواد نیمهرسانا و عملکرد دستگاهها تأثیر میگذارد.
اجرای پروژه و نتایج عملیاتی
بهعنوان یک شرکت پیشرو در زمینه مواد و تجهیزات نیمهرسانا، این شرکت الزامات فرآیندی سختگیرانهای برای تمیزی و ثبات فشار هوای فشرده در فرآیندهای فوقالعاده دقیق مانند رشد تککریستال سیلیکون و برش ویفر دارد. کیفیت منبع هوای فشرده بهطور مستقیم بر خلوص مواد نیمهرسانا و عملکرد دستگاهها تأثیر میگذارد.
این پروژه از دو کمپرسور اسکرو BOSAN، یک دستگاه LD PMII و یک دستگاه BDS-50، استفاده میکند. این دو دستگاه هوای فشرده کنترلهای پنوماتیک و تجهیزات جانبی را تأمین میکنند. تصفیه هوای فشرده نیازهای پاکیزگی سامانه پنوماتیک را پشتیبانی میکند؛ این تأمین هوا با گازهای فرایندی ویژه ساخت نیمهرساناها متفاوت است.
پس از راهاندازی تجهیزات، بازده سیلیکون تککریستال واحد به طور مؤثری افزایش یافت، مصرف انرژی سیستم تأمین هوای فشرده کاهش یافت و پشتیبانی محکمی برای تولید انبوه مواد نیمههادی با کیفیت بالا فراهم شد.
این ارقام مربوط به این پروژه و شرایط عملیاتی خاص آن است و نتایج تضمینشده برای سایر پروژهها یا کل سری محصول نمیباشد. پیکربندی و عملکرد تابع توافق فنی پروژه است.