BOSAN

تأمین هوای فشرده برای چندین فرایند تولید نیمه‌هادی‌ها

به‌عنوان یک شرکت پیشرو در زمینه مواد و تجهیزات نیمه‌رسانا، این شرکت الزامات فرآیندی سختگیرانه‌ای برای تمیزی و ثبات فشار هوای فشرده در فرآیندهای فوق‌العاده دقیق مانند رشد تک‌کریستال سیلیکون و برش ویفر دارد. کیفیت منبع هوای فشرده به‌طور مستقیم بر خلوص مواد نیمه‌رسانا و عملکرد دستگاه‌ها تأثیر می‌گذارد.

بازگشت به مطالعات موردی

به‌عنوان یک شرکت پیشرو در زمینه مواد و تجهیزات نیمه‌رسانا، این شرکت الزامات فرآیندی سختگیرانه‌ای برای تمیزی و ثبات فشار هوای فشرده در فرآیندهای فوق‌العاده دقیق مانند رشد تک‌کریستال سیلیکون و برش ویفر دارد. کیفیت منبع هوای فشرده به‌طور مستقیم بر خلوص مواد نیمه‌رسانا و عملکرد دستگاه‌ها تأثیر می‌گذارد.

اجرای پروژه و نتایج عملیاتی

به‌عنوان یک شرکت پیشرو در زمینه مواد و تجهیزات نیمه‌رسانا، این شرکت الزامات فرآیندی سختگیرانه‌ای برای تمیزی و ثبات فشار هوای فشرده در فرآیندهای فوق‌العاده دقیق مانند رشد تک‌کریستال سیلیکون و برش ویفر دارد. کیفیت منبع هوای فشرده به‌طور مستقیم بر خلوص مواد نیمه‌رسانا و عملکرد دستگاه‌ها تأثیر می‌گذارد.

این پروژه از دو کمپرسور اسکرو BOSAN، یک دستگاه LD PMII و یک دستگاه BDS-50، استفاده می‌کند. این دو دستگاه هوای فشرده کنترل‌های پنوماتیک و تجهیزات جانبی را تأمین می‌کنند. تصفیه هوای فشرده نیازهای پاکیزگی سامانه پنوماتیک را پشتیبانی می‌کند؛ این تأمین هوا با گازهای فرایندی ویژه ساخت نیمه‌رساناها متفاوت است.

پس از راه‌اندازی تجهیزات، نرخ تولید محصول سالمِ سیلیکون تک‌بلور در این شرکت به‌طور مؤثری افزایش یافت و مصرف انرژی سامانه تأمین هوای فشرده کاهش یافت؛ این تغییرات پشتوانه‌ای محکم برای تولید انبوه مواد نیمه‌رسانای پیشرفته فراهم کرد.

این ارقام مربوط به این پروژه و شرایط عملیاتی خاص آن است و نتایج تضمین‌شده برای سایر پروژه‌ها یا کل سری محصول نمی‌باشد. پیکربندی و عملکرد تابع توافق فنی پروژه است.

محصول مرتبط با این پروژه

گفت‌وگو درباره نوسازی تجهیزات شما برای صرفه‌جویی انرژی